Chemistry of Atomic Layer Deposition
| Autor: | Seán Thomas Barry |
|---|---|
| EAN: | 9783110712537 |
| eBook Format: | |
| Sprache: | Englisch |
| Produktart: | eBook |
| Veröffentlichungsdatum: | 08.11.2021 |
| Kategorie: | |
| Schlagworte: | Atomic Layer Deposition; Thin Film Deposition; Materials Fabrication. Beschichtungen Materialwissenschaften Oberflächen Wekstoffwissenschaften |
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This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.
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