Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid
| Autor: | Hagedorn, Sylvia |
|---|---|
| EAN: | 9783954049851 |
| Sachgruppe: | Physik, Astronomie |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 176 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Veröffentlichungsdatum: | 20.05.2015 |
| Schlagworte: | Astronomie Elektrizität Elektromagnetismus Magnet (physikalisch) - Magnetismus Magnet (physikalisch) / Elektromagnetismus |
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Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird. Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht. Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.