Integration of Functional Oxides with Semiconductors
| Autor: | Demkov, Alexander A. Posadas, Agham B. |
|---|---|
| EAN: | 9781461493198 |
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 288 |
| Produktart: | Gebunden |
| Veröffentlichungsdatum: | 21.02.2014 |
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Discusses why semiconductor substrates are an excellent integration platform for making hybrid logic/sensor devicesProvides a brief introduction to the methods accessible to non-experts, before going into details interesting to the expertsIncludes a detailed glossary explaining the specialized terminology and providing insight into the terminology and how it's usedIncludes supplementary material: sn.pub/extras
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