Integration passiver Bauelemente in Strukturen der Mikroelektronik durch Inkjetdruck nanoskaliger Partikel

Im aufstrebenden Technologiefeld der Nanotechnik ist einer der Forschungsschwerpunkte die Herstellung nanoskaliger Partikel. Mit der piezoelektrischen Inkjettechnik steht eine Strukturierungs- und Schichttechnik zur Verfügung, mit der diese Nanopartikel verarbeitet werden können. Bisher wurden diese Partikel mit Industriellen Drucksystemen verdruckt. In dieser Arbeit konnte gezeigt werden, dass für das verdrucken nanoskaliger und elektrisch funktioneller Partikel auch ein vergleichsweise günstiger Desktopdrucker verwendet werden kann. Ziel der laufenden Untersuchungen ist es, Widerstände mit einer CNT Dispersion und Kondensatoren mit einer Metalloxidhaltigen Tinte herzustellen und in das ebenfalls inkjetgedruckte Leiterbild zu integrieren. Hierzu wurde die Druckbarkeit solcher Tinten untersucht. Die durch verdrucken von Silbertinte erzeugten Strukturen erreichten bei dem D88 Drucksystem Flächenwiderstände von unter 1 Ohm was die Herstellung eines UKW-Radios mit inkjetgedrucktem Leiterbild ermöglichte.