Laser Microfabrication
| Autor: | Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao |
|---|---|
| EAN: | 9780080918020 |
| eBook Format: | |
| Sprache: | Englisch |
| Produktart: | eBook |
| Veröffentlichungsdatum: | 21.06.1989 |
| Untertitel: | Thin Film Processes and Lithography |
| Kategorie: | |
| Schlagworte: | dissociation epitaxy laser deposition mass transport quantum yield semiconductors |
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This book reviews the solid core of fundamental scientific knowledge on laser-stimulated surface chemistry that has accumulated over the past few years. It provides a useful overview for the student and interested non-expert as well as essential reference data (photodissociation cross sections, thermochemical constants, etc.) for the active researcher.