Modelling of Microfabrication Systems
| Autor: | Dai, Weizhong Nassar, Raja |
|---|---|
| EAN: | 9783540002529 |
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 280 |
| Produktart: | Gebunden |
| Veröffentlichungsdatum: | 13.06.2003 |
| Schlagworte: | Mikrotechnologie - Mikrotechnik Nanotechnologie Technologie / Mikrotechnologie Technologie / Nanotechnologie |
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First book on modelling of the processing techniques for microsystemsFocusses on the fabrication of high-aspect ratio microparts, namely ion beam micromachining, x-ray lithography, laser chemical vapor deposition, laser photopolimerization, laser ablationIncludes supplementary material: sn.pub/extras
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