Nanofabrication
| Autor: | Cui, Zheng |
|---|---|
| EAN: | 9783319818757 |
| Auflage: | 002 |
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 452 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Veröffentlichungsdatum: | 20.06.2018 |
| Untertitel: | Principles, Capabilities and Limits |
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Compares nanofabrication technologies, including their capabilities and limitations, in a consistent, reader-friendly manner Contains in-depth discussions on optical lithography and electron beam lithography, based on the author's experience having developed simulation programs for each Presents practical information and examples, drawn from both primary research and industrial applications, which readers can use in realistic situations and for trouble-shooting
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