| EAN: | 9783319795393 |
|---|---|
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 416 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Herausgeber: | Liu, Xinyu Ru, Changhai Sun, Yu |
| Veröffentlichungsdatum: | 30.03.2018 |
| Untertitel: | Fundamentals and Applications |
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Enriches understanding of the latest fundamentals and applications of nanopositioning technologies Maximizes reader insights into design/modeling/control of nanopositioning systems, nanomanipulation under scanning electron microscopes and nanopositioning for semiconductor inspection Reviews comprehensively key recent research into nanopositioner design, sensors, actuators, controls and emerging applications
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