Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
| Autor: | Franz, Gerhard |
|---|---|
| EAN: | 9783540407652 |
| Auflage: | 003 |
| Sachgruppe: | Physik, Astronomie Technik |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 564 |
| Produktart: | Gebunden |
| Veröffentlichungsdatum: | 02.12.2003 |
| Schlagworte: | Oberfläche Plasma (physikalisch) Technologie |
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Einzige und unersetzbare Quelle ?er die Eigenschaften und den Einsatz von NiederdruckplasmenNiederdruckplasmen sind relevante Instrumente f? Herstellungsverfahren in der Photonik und Elektronik
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