Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

Autor:	Franz, Gerhard
EAN:	9783540407652
Auflage:	003
Sachgruppe:	Physik, Astronomie Technik
Sprache:	Deutsch
Seitenzahl:	564
Produktart:	Gebunden
Veröffentlichungsdatum:	02.12.2003
Schlagworte:	Oberfläche Plasma (physikalisch) Technologie

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Einzige und unersetzbare Quelle ?er die Eigenschaften und den Einsatz von NiederdruckplasmenNiederdruckplasmen sind relevante Instrumente f? Herstellungsverfahren in der Photonik und Elektronik