Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern

Dünne Schichten von transparenten oder halbtransparenten Materialien spielen eine wichtige Rolle in unserem Leben. So wird einerseits eine Vielzahl von Farben in der Natur durch Interferenz von Licht hervorgerufen, das an dünnen, transparenten Schichten reflektiert wird. Andererseits begegnen wir täglich meistens unbewusst einer Vielzahl technischer Anwendungen dünner Filme. Daher ist es in unserem Interesse, so viel Information wie möglich über Schichten und Beschichtungen zu erhalten. Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstörungs- und berührungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dünner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch führt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflüsse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrößen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet.

Dr. rer. nat. habil. Michael Quinten arbeitet als Leiter der F&E Sensoren bei der FRT GmbH in Bergisch Gladbach. Nach dem Studium der Physik und der Promotion in Physik an der Universität des Saarlandes, Saarbrücken, wechselte er an die RWTH Aachen, um dort zu habilitieren. Nach der Habilitation folgten weitere vier Jahre an den Universitäten in Graz, Chemnitz, Saarbrücken, Aachen und Bochum. In seiner akademischen Periode von 1983 bis 2000 hat er mehr als 50 wissenschaftliche Arbeiten veröffentlicht, mit Schwerpunkten auf den optischen Eigenschaften von Nanopartikel, Nanopartikelmaterie und Aerosolen. 2001 kam er zur ETA-Optik GmbH, wo er zunächst in der F&E im Bereich Integrierte Optik tätig war und dann Produktmanager für den Bereich Farb- und Schichtdickenmessung wurde. Seit 2007 ist er bei der FRT GmbH beschäftigt, wo er für die F&E im Bereich optischer Sensoren zuständig ist. Michael Quinten ist Autor von zwei englischsprachigen Büchern zu den optischen Eigenschaften von Nanopartikelsystemen und zur optischen Schichtdickenmessung.