Silicon Anodization as a Structuring Technique
| Autor: | Ivanov, Alexey |
|---|---|
| EAN: | 9783658192372 |
| Auflage: | 001 |
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 348 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Veröffentlichungsdatum: | 22.09.2017 |
| Untertitel: | Literature Review, Modeling and Experiments |
| Schlagworte: | Dynamik (physikalisch) / Thermodynamik Mathematik / Technik, Ingenieurwissenschaften, Handwerk Nanotechnologie Technologie / Nanotechnologie Thermodynamik Wärmelehre / Thermodynamik |
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Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed. ¿
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