Technologien für Mikrosysteme
| Autor: | Hafkesbrink, Joachim |
|---|---|
| EAN: | 9783540622284 |
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 244 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Veröffentlichungsdatum: | 09.12.1993 |
| Untertitel: | Stand und Entwicklung / Integrier Optik ¿ Schichttechniken ¿ Mikromechanik ¿ Halbleitetechniken ¿ Faseroptik |
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