Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors
Autor: | Dao, Dzung Viet Dinh, Toan Nguyen, Nam-Trung |
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EAN: | 9789811325700 |
Auflage: | 001 |
Sachgruppe: | Technik |
Sprache: | Englisch |
Seitenzahl: | 128 |
Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
Veröffentlichungsdatum: | 23.10.2018 |
Schlagworte: | Chemie Chemie / Technik, Werkstoffe, Berufe, Industrie Fertigungstechnik Festkörperphysik Massenspektrometrie - Spektrometrie Nanotechnologie Spektroskopie Technologie / Nanotechnologie |
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Provides useful guidance on developing high sensitivity and linearity, fast-response Si.C sensing devices