Charakterisierung von diffraktiv-optischen Elementen
Autor: | Martin Renner |
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EAN: | 9783639100297 |
eBook Format: | |
Sprache: | Deutsch |
Produktart: | eBook |
Veröffentlichungsdatum: | 09.01.2009 |
Untertitel: | Aufbau eines Messplatzes zur optischen Charakterisierung von diffraktiv-optischen Mikrostrukturen |
Kategorie: | |
Schlagworte: | Beugungslimit DOE Gitterproblem Messplatz Mikrostrukturen Optik Photonik Wafer diffraktive optische |
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Die ursprünglich als Diplomarbeit verfasste Schrift beschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzes zur optischen Charakterisierung von diffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird in diesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniert und sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegend wird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearen Binärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus dem Beugungsbild erläutert. Es wird auf das optische Messprinzip samt Beispielmessungen eingegangen. Besondere Beachtung findet die Darstellung der Implementierung des Messplatzes. Dies führt von der Konzeptionierung über die Konstruktion bis hin zur Auswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.
Geboren in Ueckermünde und aufgewachsen in Oranienburg (bei Berlin) absolvierte Martin Renner sein Studium der Physikalischen Technik an der TFH Wildau. In dem Zusammenhang entstand auch diese Schrift in Form einer Diplomarbeit bei der Firma HOLOEYE Photonics AG. Derzeitig arbeitet er bei der Bundesdruckerei GmbH auf dem Gebiet der Holografie.
Geboren in Ueckermünde und aufgewachsen in Oranienburg (bei Berlin) absolvierte Martin Renner sein Studium der Physikalischen Technik an der TFH Wildau. In dem Zusammenhang entstand auch diese Schrift in Form einer Diplomarbeit bei der Firma HOLOEYE Photonics AG. Derzeitig arbeitet er bei der Bundesdruckerei GmbH auf dem Gebiet der Holografie.