Pulsed and Pulsed Bias Sputtering
| Autor: | Barnat, Edward V. Lu, Toh-Ming |
|---|---|
| EAN: | 9781402075438 |
| Sachgruppe: | Technik |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 180 |
| Produktart: | Gebunden |
| Veröffentlichungsdatum: | 30.09.2003 |
| Untertitel: | Principles and Applications |
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