Temperature Measurement during Millisecond Annealing
| Autor: | Reichel, Denise |
|---|---|
| EAN: | 9783658113872 |
| Auflage: | 001 |
| Sachgruppe: | Physik, Astronomie |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 140 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Veröffentlichungsdatum: | 14.01.2016 |
| Untertitel: | Ripple Pyrometry for Flash Lamp Annealers |
| Schlagworte: | Chemie Dynamik (physikalisch) / Thermodynamik Festkörperphysik Massenspektrometrie - Spektrometrie Materialwissenschaft Spektroskopie Thermodynamik Wärmelehre / Thermodynamik |
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Denise Reichel studies the delicate subject of temperature measurement during lamp-based annealing of semiconductors, in particular during flash lamp annealing. The approach of background-correction using amplitude-modulated light to obtain the sample reflectivity is reinvented from rapid thermal annealing to apply to millisecond annealing. The author presents a new method independent of the lamp operation to obtain this amplitude modulation and derives a formula to describe the process. Further, she investigates the variables of the formula in depth to validate the method¿s suitability for background-corrected temperature measurement. The experimental results finally proof its power for elevated temperatures.
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